Wetenschap
Instituut voor nanolithografie op Science Park
27 May 2013 - 11:12
ASML, de stichting voor Fundamenteel Onderzoek der Materie (FOM), UvA, VU en NWO hebben plannen om een Instituut voor Nanolithografie (INL) op te richten. Het INL zal fundamenteel en toegepast onderzoek uitvoeren voor de halfgeleiderindustrie.
Het onderzoeksprogramma van het INL zal zich in eerst...